儀器設備
安捷倫B1500A半導體分析儀 |
Agilent B1500A Semiconductor Device Analyzer |
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1. 電性測試 2. |
| 高低溫真空量測系統 | Temperature control vacuum chamber |
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1. 200 ~ -150 degree C. 2. Pump down to 10E-3 torr. 3. Nitrogen fill-in. |
旋轉塗佈機 |
Spin Coater |
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1. 光阻塗佈
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| 氧電漿清洗機 | O2 plasma cleaner |
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1. 氧電漿清洗
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| 紫外光臭氧清洗機 | UV Ozone cleaner |
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1. 樣品清洗 |
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國立清華大學 奈米工程與微系統研究所 王玉麟教授實驗室 聯絡方式：03-5715131 轉分機 62405 (教授辦公室) 或分機 80159 (學生研究室) E-mail：ylwang@mx.nthu.edu.tw |